Автор работы: Пользователь скрыл имя, 08 Мая 2012 в 18:32, реферат
Прецизионные резисторы могут быть проволочными и непроволочными. В обоих случаях для обеспечения их высокой точности выполняют технологическую подгонку под заданный допуск номинального сопротивления. В первом случае изменяют число витков при намотке, а во втором – юстируют токопроводящий элемент, например дополнительно нарезая витки на каркасе. Чтобы обеспечить высокую стабильность прецизионных резисторов, используют разные способы. В непроволочных резисторах уменьшают перегрев токопроводящего слоя, увеличивая поверхность теплоотдачи, резисторы подвергают длительной электротермотренировке.
Резисторы тонкопленочных схем создают, напыляя металлы или другие токопроводящие вещества обычно на ситалловые подложки. Конфигурация резисторов определяется топологией (размещением и размерами) резистивного слоя масок, через “окна” в которых проводится напыление. При этом используют как вакуумное термическое испарение, так и катодное распыление. Процесс напыления выполняют в специальных вакуумных установках.
Рисунок
3. Геометрия тонкопленочного
1ср и b – средняя длина и ширина резистора, t, a, L и В –шаг, расстояние между звеньями, длина и ширина меандра.
Таблица 1. Основные параметры тонкоплёночных резисторов
Материал | ρٱОм/ٱ | ТКС = ±10-4,1/оС | Р0, мВт/мм2 |
МЛТ-3М
Тантал Керметы Силициды |
200-500
300-1000 2000-10000 4000-5000 |
±(1,2÷2,4)
±(0,1÷1) ±(0,5÷7) - |
10
30 20 10 |
Маски могут быть металлическими и фоторезистивными. Фоторезистивные маски получают методом фотолитографии, разрешающая способность которого составляет единицы микрометра. Однако из технологических и точностных соображений минимально допустимую ширину “окна” в маске выбирают равной 50-100 мкм.
Для напыления резисторов применяют сплав МЛТ-ЗМ, тантал, керметы и силициды.
Основным параметром напыляемого материала является сопротивление квадрата его поверхности ρٱ= ρυ/d, где ρυ - удельное обьёмное сопротивление, Ом • см; d – толщина напыляемой пленки, см.
Важными параметрами для, расчета тонкопленочных резисторов являются также ТКС и удельная мощность рассеивания Р0. Основные параметры тонкопленочных резисторов, получаемых на основе различных напыляемых материалов, приведены в табл.1.
Тонкопленочные
резисторы могут иметь форму
полоски или меандра обладают
рядом преимуществ перед
Информация о работе Особенности работы и применения резисторов специального назначения